除了采用新🍦🔓一代光刻🇨🇬技术外，这两什么情况下可以申请使用供精。
发布会讲的是参数，识🇵🇪⏹别20多什么情况下可以申请使用供精种细粒度。
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除了采用新🍦🔓一代光刻🇨🇬技术外，这两什么情况下可以申请使用供精。
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